lf420-s模拟型气体质量流量控制器/流量计 简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 技术参数： 产品型号 lf420-sc lf420-sm 满量程范围 sccm 0～5，10，20，30，50，100，200，500 slm 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 量程比 控制器50:1 流量计100:1 精度 ±1.0%f.s 线性 ±0.5%f.s 重复性 ±0.2%f.s 阀门类型 常闭阀 响应时间 ≤1s-3s 工作压差 0.1...0.5mpa 大耐压 3mpa 工作环境温度 5...45℃ 泄漏率 1×10-8pa.m3/s 通信信号 0-5v / 4-20ma 供电方式 24vdc（250ma） 密封材料 丁晴橡胶 橡胶（可选） 接头尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” 电器接头 db9针 技术参数：